全譜直讀型ICP光譜儀屬于精密測量儀器，光學系統(tǒng)微小的變化(如結(jié)構(gòu)件的熱脹冷縮等)即會引起很大的測量誤差，因此光譜儀在設計時會對光學系統(tǒng)進行恒溫控制。但即使如此，外界溫度的變化仍會影響恒溫系統(tǒng)的熱平衡狀態(tài)，引起測量誤差，因此為了測量結(jié)果的精密度，應盡可能減小使用過程中環(huán)境溫度的波動，較大不應*過5℃。
 

　　全譜直讀型ICP光譜儀分析的誤差的性質(zhì)及其產(chǎn)生的原因：
 

　　1.系統(tǒng)誤差也叫可測誤差，它是由于分析過程中某些經(jīng)常發(fā)生的比較固定的原因所造成的，它是可以通過測量而確定的誤差。通常系統(tǒng)誤差偏向一方，或偏高，或偏低。例如光譜標樣，經(jīng)過足夠多次測量，發(fā)現(xiàn)分析結(jié)果平均值與該標樣證書上的含量值始終有一差距，這就產(chǎn)生一個固定誤差即系統(tǒng)誤差，系統(tǒng)誤差可以看作是對測定值的校正值，它決定了測定結(jié)果的準確度。
 

　　2.偶然誤差是一種無規(guī)律性的誤差，又稱不可測誤差，或隨機誤差，它是由于某些偶然的因素(如測定環(huán)境的溫度、濕度、振動、灰塵、油污、噪音、儀器性能等的微小的隨機波動)所引起的，其性質(zhì)是有時大，有時小，有時正，有時負，難以察覺，難以控制。它決定了測定結(jié)果的精密度。
 

　　3.過失誤差是指分析人員工作中的操作失誤所得到的結(jié)果，沒有一定的規(guī)律可循，只能作為過失。不管造成過失誤差的具體原因如何，只要確知存在過失誤差，就將這一組測定值數(shù)據(jù)以異常值舍棄。
 

　　在全譜直讀型ICP光譜儀的分析過程中，從開始取樣到后出分析數(shù)據(jù)，是由若干個操作環(huán)節(jié)組成的，每一環(huán)節(jié)都產(chǎn)生一定的誤差。當無過失誤差時，光譜分析的總誤差主要是系統(tǒng)誤差和偶然誤差的總和，便決定了光電直讀光譜分析方法的正確度。分析正確度包含二方面內(nèi)容:正確性和再現(xiàn)性。正確性表示分析結(jié)果與真實含量的接近程度，系統(tǒng)誤差小，正確性高。再現(xiàn)性(精密度)表示多次分析結(jié)果的離散程差和偶然誤差或系統(tǒng)誤差和偶然誤差都很小時，精密度就等于正確度。